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同惠 TH510系列 半导体器件C-V特征测试仪

同惠 TH510系列 半导体器件C-V特征测试仪
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同惠 TH510系列 半导体器件C-V特征测试仪
同惠 TH510系列 半导体器件C-V特征测试仪
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型  号:TH510系列
名  称:半导体器件C-V特征测试仪
品  牌:同惠(Tonghui)
分  类:半导体装备 > 半导体质料测试 > 半导体参数剖析仪
产品属性:主机
简  述:

TH510系列半导体C-V特征剖析仪立异性地接纳了双CPU架构、Linux底层系统、10.1英寸电容式触摸屏、中英文操作界面、内置使用说明伎帐助等新一代手艺,, ,,,,, ,适用于生产线快速分选、自动化集成测试及知足实验室研发及剖析。。。。。TH510系列半导体C-V特征剖析仪测试频率为10kHz-2MHz,, ,,,,, ,VGS电压可达±40V,, ,,,,, ,足以知足二极管、三极管、MOS管及IGBT等半导体件CV特征测试剖析。。。。。

性能特点

 

  • 通道:2(可扩展至6)
  • 高偏置:VGS:0 - ±40V,, ,,,,, ,VDS:0–200V,1500V,3000V
  • 双CPU架构,, ,,,,, ,最短积分时间0.56ms(1800次/秒)
  • 10.1英寸电容式触摸屏,, ,,,,, ,区分率1280*800,, ,,,,, ,Linux系统
  • 点测、列表扫描、图形扫描(选件)三种测试方法
  • 四寄生参数(Ciss、Coss、Crss、Rg)同屏显示
  • 快速导通测试Cont
  • 一体化设计:LCR+高压源+继电器矩阵
  • 快速充电,, ,,,,, ,缩短电容充电时间,, ,,,,, ,实现快速测试
  • 自动延时设置
  • 10档分选

 

产品综述

 

TH510系列半导体C-V特征剖析仪是同惠电子针对半导体质料及器件生产与研发的剖析仪器。。。。。

TH510系列半导体C-V特征剖析仪立异性地接纳了双CPU架构、Linux底层系统、10.1英寸电容式触摸屏、中英文操作界面、内置使用说明伎帐助等新一代手艺,, ,,,,, ,适用于生产线快速分选、自动化集成测试及知足实验室研发及剖析。。。。。

TH510系列半导体C-V特征剖析仪测试频率为10kHz-2MHz,, ,,,,, , VGS电压可达±40V,, ,,,,, ,足以知足二极管、三极管、MOS管及IGBT等半导体件CV特征测试剖析。。。。。

得益于10.1英寸、区分率达1280*800的电容式触摸屏,, ,,,,, ,TH510系列半导体器件C-V特征剖析仪可将四个参数同屏显示、所有设置、监视、分选参数、状态等可以在统一屏显示,, ,,,,, ,阻止了频仍的切换的操作。。。。。

同惠 TH510系列 半导体器件C-V特征测试仪

功效特点

A.单点测试,, ,,,,, ,10.1英寸大屏,, ,,,,, ,四种寄生参数同屏显示,, ,,,,, ,让细节一览无遗

10.1英寸触摸屏、1280*800区分率,, ,,,,, ,Linux系统、中英文操作界面,, ,,,,, ,支持键盘、鼠标、LAN接口,, ,,,,, ,带来了无以伦比的操作便捷性。。。。。

MOSFET主要的四个寄生参数:Ciss、Coss、Crss、Rg在统一个界面直接显示丈量效果,, ,,,,, ,并将四个参数测试等效电路图同时显示,, ,,,,, ,一目了然。。。。。

多至6个通道丈量参数可快速挪用,, ,,,,, ,分选效果在统一界面直接显示。。。。。

同惠 TH510系列 半导体器件C-V特征测试仪

B.列表测试,, ,,,,, ,无邪组合

TH510系列半导体C-V特征剖析仪支持最多6个通道、4个丈量参数的测试及剖析,, ,,,,, ,列表扫描模式支持差别通道、差别参数、差别丈量条件恣意组合,, ,,,,, ,并可设置极限规模,, ,,,,, ,并显示丈量效果 。。。。。

同惠 TH510系列 半导体器件C-V特征测试仪

C.曲线扫描功效(选件)

TH510系列半导体C-V特征剖析仪支持C-V特征曲线剖析,, ,,,,, ,可以对数、线性两种方法实现曲线扫描,, ,,,,, ,可同时显示多条曲线:统一参数、差别Vg的多条曲线;;;; ;统一Vg、差别参数多条曲线 。。。。。

同惠 TH510系列 半导体器件C-V特征测试仪

D.简朴快捷设置

同惠 TH510系列 半导体器件C-V特征测试仪

E.10档分选及可编程HANDLER接口

仪器提供了10档分选,, ,,,,, ,为客户产品质量分级提供了可能,, ,,,,, ,分选效果直接输出至HANDLER接口。。。。。

在与自动化装备毗连时,, ,,,,, ,怎么设置HANDLER接口输出,, ,,,,, ,一直是自动化客户的难题,, ,,,,, ,TH510系列将HANDLER接口脚位、输入输出方法、对应信号、应答方法等完全可视化,, ,,,,, ,让自动化毗连更简朴。。。。。

同惠 TH510系列 半导体器件C-V特征测试仪

F.支持定制化,, ,,,,, ,智能固件升级方法

同惠仪器关于客户而言是开放的,, ,,,,, ,仪器所有接口、指令集均为开放设计,, ,,,,, ,客户可自行编程集成或举行功效定制,, ,,,,, ,定制功效若无硬件更改,, ,,,,, ,可直接通过固件升级方法更新。。。。。

仪器自己功效完善、BUG解决、功效升级等,, ,,,,, ,都可以通过升级固件(Firmware)来举行更新,, ,,,,, ,而无需返厂举行。。。。。

固件升级很是智能,, ,,,,, ,可以通过系统设置界面或者文件治理界面举行,, ,,,,, ,智能搜索仪器内存、外接优盘甚至是局域网内升级包,, ,,,,, ,并自动举行升级

同惠 TH510系列 半导体器件C-V特征测试仪

G.半导体元件寄生电容知识

在高频电路中,, ,,,,, ,半导体器件的寄生电容往往会影响半导体的动态特征,, ,,,,, ,以是在设计半导体元件时需要思量下列因数在高频电路设计中往往需要思量二极管结电容带来的影响;;;; ;MOS管的寄生电容会影响管子的行动时间、驱动能力和开关消耗等多方面特征;;;; ;寄生电容的电压依赖性在电路设计中也是至关主要,, ,,,,, ,以MOSFET为例。。。。。

同惠 TH510系列 半导体器件C-V特征测试仪

 

应用

 

  • 半导体元件/功率元件
    二极管、三极管、MOSFET、IGBT、晶闸管、集成电路、光电子芯片等寄生电容测试、C-V特征剖析
  • 半导体质料
    晶圆、C-V特征剖析
  • 液晶质料
    弹性常数剖析

 

手艺参数

 

产品型号 TH511 TH512 TH513
通道数 2(可选配4/6通道) 2
显示 显示器 10.1英寸(对角线)电容触摸屏
比例 16:9
区分率 1280×RGB×800
丈量参数 CISS、COSS、CRSS、Rg,, ,,,,, ,四参数恣意选择
测试频率 规模 10kHz-2MHz
精度 0.01%
区分率 10mHz                                     1.00000kHz-9.99999kHz
100mHz                                   10.0000kHz-99.9999kHz
1Hz                                          100.000kHz-999.999kHz
10Hz                                        1.00000MHz-2.00000MHz
测试电平 电压规模 5mVrms-2Vrms
准确度 ±(10%×设定值+2mV)
区分率 1mVrms                                    5mVrms-1Vrms
10mVrms                                  1Vrms-2Vrms
VGS电压 规模 0 - ±40V
准确度 1%×设定电压+8mV
区分率 1mV                                           0V - ±10V
10mV                                        ±10V -±40V
VDS电压 规模 0 - 200V 0 - 1500V 0 - 3000V
准确度 1%×设定电压+100mV
输出阻抗 100Ω,, ,,,,, ,±2%@1kHz
数学运算 与标称值的绝对误差Δ,, ,,,,, ,与标称值的百分比误差Δ%
校准功效 开路OPEN、短路SHORT、负载LOAD
丈量平均 1-255次
AD转换时间(ms/次) 快速+:0.56ms(>5kHz) 快速:3.3ms 中速:90ms 慢速:220ms
最高准确度 0.1%(详细参考说明书)
CISS、COSS、CRSS 0.00001pF - 9.99999F
Rg 0.001mΩ - 99.9999MΩ
Δ% ±(0.000% -   999.9%)
多功效参数列表扫描 点数 20点,, ,,,,, ,每个点可设置平均数,, ,,,,, ,每个点可单独分选
参数 测试频率、Vg、Vd、通道
触发模式 顺序SEQ:当一次触发后,, ,,,,, ,在所有扫描点丈量,, ,,,,, ,/EOM/INDEX只输出一次
步进STEPT媚课触发执行一个扫描点丈量,, ,,,,, ,每点均输出/EOM/INDEX,, ,,,,, ,但列表扫描较量器效果只在最后的/EOM才输出

 

 

附件

 

标配附件

TH26063B六端测试夹具

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