系统形貌：

　　本装备用于丈量、剖析光电探测器、CMOS，，，，，CCD等器件的细小局部特征，，，，，由于CMOS单位画素尺寸小于50微米，，，，，无法以一样平常的白光光源聚焦到微米品级的光斑，，，，，须接纳激光光源方能聚焦到微米品级后，，，，，因此需要激光光束引致电流扫描图谱仪，，，，，丈量细小器件的居部特征。。。。。
　　激光光束引致电流扫描图谱仪为细密的光电转换效率量测扫描装置，，，，，用于检测光电探测器、CCD、CMOS器件的转换效率、匀称度，，，，，光谱响应，，，，，量子效率等特征。。。。。其组成为激光源、聚焦光路集成系统、细密电动扫描平台、光电流讯号量测系统、控制剖析系统及软件等五大部分。。。。。

1.激光源部分: 接纳高同调性、高能量的激光，，，，，作为引发光电探测器器件，，，，，引致其爆发光电流，，，，，自己的光强度不稳固性需? 1 %。。。。。
2.聚焦光路集成系统: 为多种光学零件(反射镜、镜座、光学滤镜等等)组成之细密光学系统，，，，，可扶引激光光源到聚焦光学镜组，，，，，聚焦后爆发微米(micrometer)品级的光点，，，，，用以量测光电器件细小局部特征。。。。。
3.细密电动扫描平台: 用以载附光电器件作二维移动，，，，，以使聚焦光点能在器件外貌作扫描量测。。。。。
4.光电流讯号量测系统: 聚焦后的光点在入射到器件后，，，，，爆发光电转换，，，，，天生微弱光电流讯号(奈安培到微安培品级)，，，，，经由光电转换放大器，，，，，锁相放大器测得此光电讯号。。。。。
5.控制剖析系统及软件: 能控制激光源、光束巨细调解、细密电动平台移动、及微弱光电量测四大部分，，，，，作器件特征的二为扫描量测，，，，，并将量测数据自行动剖析及绘制二维及三微的图形显示。。。。。



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